表面粗糙度是機(jī)械加工中描述表面微觀形貌最常用的參數(shù)，它反映的是機(jī)械零件表面的微觀幾何形狀誤差，隨著機(jī)械加工行業(yè)的發(fā)展表面粗糙度測(cè)量技術(shù)也得到長(zhǎng)足進(jìn)步，特別是70年代中后期，隨著微電子計(jì)算機(jī)應(yīng)用的逐步普及和現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)、激光應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，使粗糙度測(cè)量技術(shù)在機(jī)械加工、光學(xué)加工、電子加工等精密加工行業(yè)中的地位顯得愈發(fā)重要。表面粗糙度的測(cè)量方法基本上可分為接觸式測(cè)量和非接觸式測(cè)量?jī)深悾涸诮佑|式測(cè)量中主要有比較法、印模法、觸針法等;非接觸測(cè)量方式中常用的有光切法、散斑法、像散測(cè)定法、光外差法、AFM 、飛光學(xué)傳感器法等。

測(cè)量范圍大、分辨率高、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好。


 測(cè)量時(shí)將觸針尖端搭在加工件的被測(cè)表面上， 并使針尖與被測(cè)面保持垂直接觸， 利用驅(qū)動(dòng)裝置以緩慢、 均勻的速度拖動(dòng)傳感器。 由于被測(cè)表面是一個(gè)有峰谷起伏的輪廓， 所以當(dāng)觸針在被測(cè)表面拖動(dòng)滑行時(shí)， 將隨著被測(cè)面的峰谷起伏而產(chǎn)生上下移動(dòng)。 此運(yùn)動(dòng)過程又運(yùn)用杠桿原理經(jīng)過支點(diǎn)傳遞給磁芯， 使它同步地在電感線圈中作反向上下運(yùn)動(dòng)， 并將運(yùn)動(dòng)幅度放大， 從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化， 并將觸針微小的垂直位移轉(zhuǎn)換為同步成比例的電信號(hào)。