影像測量儀一般提供三種光源：表面光源、輪廓光源、同軸光源。

隨著測量技術(shù)越來越成熟，測量軟件可以非常靈活地控制光源。針對不同的測量工件，測量人員可以設(shè)計不同的照明方案，以獲得最佳的照明效果，使測量數(shù)據(jù)最準確。

光源強度的選擇一般需要根據(jù)經(jīng)驗和拍攝圖像的清晰度來確定。但是這種方法有些武斷，即使是同一個測量場景，不同的操作者也可能設(shè)置不同的強度值。自動影像測量儀可自動開啟光源功能，可根據(jù)亮度最佳、圖像細節(jié)最豐富的光源特性確定最佳光源強度。

對于輪廓光源和同軸光源，由于只有一個入射方向，測量軟件只能調(diào)節(jié)光源的亮度。輪廓光源和透鏡位于工件的不同側(cè)面，主要用于測量工件的外輪廓。同軸光源用于測量一些具有高反射率表面的工件，如玻璃，也適用于深孔或深槽的測量。