三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)就是在三個(gè)相互垂直的方向上有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)、測(cè)長(zhǎng)元件、數(shù)顯裝置，有一個(gè)能夠放置工件的工作臺(tái)(大型和巨型不一定有)，測(cè)頭可以以手動(dòng)或自動(dòng)方式輕快地移動(dòng)到被測(cè)點(diǎn)上，由讀數(shù)設(shè)備和數(shù)顯裝置把被測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值顯示出來(lái)的一種測(cè)量設(shè)備。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是用來(lái)測(cè)量工件物體的尺寸包括尺寸之間的關(guān)系的，如長(zhǎng)度，對(duì)稱度，直徑，圓柱度等尺寸和形位公差。

激光干涉儀，是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。但是測(cè)量工件的儀器必須有移動(dòng)軸或者外部有移動(dòng)軸，若用激光干涉儀測(cè)量工件的長(zhǎng)度就測(cè)不了。