影像測量儀常見故障分為升降傳動故障、工作臺故障、投影屏故障、投影成像故障、印象成像故障、電氣故障、電子故障以及精度故障等。
1、升降傳動故障。常見的有升降有異響、無法上升，下降、下降有掉落感，彈跳、傳動時空回間隙大、微調不傳動、投影屏框松動等。
2、工作臺故障。一般容易呈現(xiàn)光桿空轉、光桿傳動有彈跳、磨擦傳動時不順、工作臺運動有響聲、工作臺運動有卡滯現(xiàn)象等。解決故障時，要要找出故障原因，再對癥下藥?？烧{整繃簧的螺絲松緊、替換軸承、新上油、加潤滑油、替換光桿、調理或替換光桿支架等方式來解決。
3、投影屏故障。旋轉有動靜時，可整理端面上的雜質（如銹漬），換新定位軸承等。旋轉時磨擦力大，可松開鎖緊螺絲，或換磨擦轉。旋轉時不均勻時，可換新度盤座、磨擦輪、磨擦輪軸等。投影屏旋轉不計數(shù)時，可扭緊視點磨擦機械，焊接好信號線，接好接插等。
4、投影成像故障。成像含糊、成像有暗區(qū)、印象有黑斑、成像對比光線暗等，可以對物鏡、投影屏、工作臺玻璃、聚光鏡、反光鏡等進行清洗。對燈絲進行調理或替換，如果燈泡電源電壓過低，則加裝總電源穩(wěn)壓器。
5、影像成像故障。顯現(xiàn)黑屏時可檢查電源線是否接好，電源電壓等，插緊顯現(xiàn)器信號線，如有零件損壞則需求替換顯現(xiàn)器或者十字線產生器。當物鏡變倍時十字線與描準點偏移大時，重調鎖鏡筒的螺絲釘，或者換鏡筒。當呈現(xiàn)被測工作的某一邊有暗影時，可調理攝像機或者玻璃四個c角上的螺絲，擺正工件。
6、電氣故障。常見毛病有燈泡不亮、軸流風機不滾動、易燒燈泡、易燒保險絲、變壓器過熱，損壞等。
7、電子故障。如電箱按鍵失靈，可系統(tǒng)總清、換新面膜；如軸不計數(shù)，可換滑座或OP板或整個尺、從頭接一下信號線、換主機板等。如數(shù)碼管缺筆劃，則需替換或維修。
8、精度故障。包含a.x.y軸精度不準、兩坐標測量精度差、視點示值誤差大、不同平面測量誤差大等。應對此類毛病，要注意校正和調整。


如果想讓影像測量儀少出現(xiàn)故障，就要注重平常對儀器進行保養(yǎng)。儀器存放環(huán)境適當重要，應放在清潔枯燥的房間里，避免光學零件表面發(fā)霉、金屬零件生銹、塵土雜物剝落等。件表面要保持清潔，不可以用手接觸，要常常進行清潔。