影像測(cè)量?jī)x的測(cè)量可以是單軸、二維平面的測(cè)量，也可以是三維空間坐標(biāo)的測(cè)量, 測(cè)量時(shí)先對(duì)焦,取點(diǎn),最后計(jì)算處理。讀數(shù)來(lái)自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng), 對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠光學(xué)系統(tǒng), 還有一個(gè)直接影響測(cè)量效果和精度的照明光源, 因?yàn)? 基于影像方法測(cè)量的儀器, 如果被測(cè)件不能被有效正確的照明, 則測(cè)量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外, 環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度不可忽視的因素?；谏鲜龇治? 可以歸納出以下幾個(gè)方面的誤差來(lái)源:

1)光柵計(jì)數(shù)尺的誤差;

2)工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來(lái)的誤差;

3)工作臺(tái)兩測(cè)量軸垂直度帶來(lái)的誤差;

4)顯微鏡光軸與工作臺(tái)面不垂直帶來(lái)的誤差;

5)測(cè)量室溫度偏離校準(zhǔn)要求的參考溫度帶來(lái)的誤差;

6)光源照明條件的變化帶來(lái)的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。

       在這幾種因素中, 前四項(xiàng)誤差, 是硬件誤差, 在儀器制造過程中已經(jīng)形成并固定下來(lái), 一般無(wú)法改變; 溫度影響帶來(lái)的誤差, 必須通過控制測(cè)量室的溫度和等溫過程來(lái)減小其影響。最后一項(xiàng)則常被忽視, 而在實(shí)際測(cè)量中, 當(dāng)光源照明條件改變時(shí), 直接影響被測(cè)工件的照明效果和影像質(zhì)量, 主要是因?yàn)橛跋駵y(cè)量?jī)x的圖像是通過CCD 接收, 盡管CCD具有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的功能, 但當(dāng)亮度過大時(shí)即失去調(diào)節(jié)功能, 導(dǎo)致被測(cè)工件影像在縮小, 當(dāng)亮度過低時(shí), 工件影像反而變大。這種影響, 對(duì)于測(cè)量具有重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)之間的間距時(shí), 只要整個(gè)測(cè)量過程中照明條件保持不變, 其影響可以忽略, 因?yàn)槊總€(gè)重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)都同時(shí)在變大或變小, 間距的測(cè)量計(jì)算直接消除了影像變形的影響, 如測(cè)量玻璃尺、網(wǎng)格板刻線間距;除了這種特殊情形外, 如測(cè)量圓的直徑、工件的長(zhǎng)度和寬度, 都將帶來(lái)明顯的誤差。

        在以影像測(cè)量工件樣品結(jié)構(gòu)的幾何尺寸時(shí), 光照明條件的改變將會(huì)直接影像被測(cè)尺寸, 如線寬、圓直徑及其他幾何形位公差, 因次要確保取到的邊界點(diǎn)是產(chǎn)品需要檢測(cè)的邊界 , 在高精度測(cè)量中, 這是導(dǎo)致測(cè)量不確定度增大的關(guān)鍵因素, 應(yīng)引起足夠重視。