只有當(dāng)物體對(duì)人眼的張角不小于某一值時(shí)，肉眼才能區(qū)別其各個(gè)細(xì)部，該量稱為目視分辨率ε。在最佳條件下，即物體的照度為50~70lx及其對(duì)比度較大時(shí)，可達(dá)到1'。為易于觀測(cè)，一般將該量加大到2'，并取此為平均目鏡分辨率。物體視角的大小與該物體的長(zhǎng)度尺寸和物體至眼睛的距離有關(guān)。有公式y(tǒng)=Lε,距離L不能取得很小，因?yàn)檠劬Φ恼{(diào)節(jié)能力有一定限度，尤其是眼睛在接近調(diào)節(jié)能力的極限范圍工作時(shí)，會(huì)使視力極度疲勞。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)(正視)而言，最佳的視距規(guī)定為250mm(明視距離)。這意味著在沒有儀器的條件下，目視分辨率ε=2'的眼睛，能清楚地區(qū)分大小為0.15mm的物體細(xì)節(jié)。

在觀測(cè)視角小于1'的物體時(shí)，必須使用放大儀器。放大鏡和顯微鏡是用于觀測(cè)放置在觀測(cè)人員近處應(yīng)予放大的物體的。在使用顯微放大進(jìn)行測(cè)量時(shí)，人們總是希望能清晰而明亮的理想圖象，這就需要顯微鏡的各項(xiàng)光學(xué)技術(shù)參數(shù)達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn)，并且要求在使用時(shí)，必須根據(jù)測(cè)量的目的和實(shí)際情況來(lái)協(xié)調(diào)各參數(shù)的關(guān)系。只有這樣，才能充分發(fā)揮顯微鏡應(yīng)有的性能。顯微鏡的重要光學(xué)技術(shù)參數(shù)包括：數(shù)值孔徑、分辨率、放大率、焦深、視場(chǎng)寬度、覆蓋差、工作距離等等。這些參數(shù)并不都是越高越好，它們之間是相互聯(lián)系又相互制約的，在使用時(shí)應(yīng)根據(jù)鏡檢的目的和實(shí)際情況來(lái)協(xié)調(diào)參數(shù)間的關(guān)系，但應(yīng)以保證分辨率為準(zhǔn)。

OGP的三維影像測(cè)量系統(tǒng)三軸方向的光柵尺分辨率高于0.5微米，當(dāng)平臺(tái)在三軸方向移動(dòng)時(shí)，CCD相機(jī)抓取到影像視窗里的產(chǎn)品特征，在一定的放大倍率的前提下，配合不同類型的光源和圖像分析軟件，對(duì)產(chǎn)品邊緣進(jìn)行灰度分析，自動(dòng)抓取到目標(biāo)位置的邊界點(diǎn)，得到點(diǎn)、線、圓等幾何要素，進(jìn)而構(gòu)建出不同的幾何形位關(guān)系的參數(shù)，并自動(dòng)與標(biāo)準(zhǔn)值比對(duì)來(lái)判定尺寸是否合格。在高度方向測(cè)量也同樣可以達(dá)到微米級(jí)的測(cè)量精度。顯微鏡在測(cè)量領(lǐng)域的新功用就是研發(fā)出類似OGP三坐標(biāo)非接觸式測(cè)量系列，助力工業(yè)檢測(cè)微細(xì)制造的同步檢測(cè)。