大視場測量系統(tǒng)很容易將小零件整體呈現(xiàn)在屏幕上,但是也有其他的微型零件,不能夠完全放入影像視窗中.帶有很小特征的大一點的零件,從MEMS 組件到微型機械裝置---這些都是需要大一點或更精密的測量系統(tǒng)來監(jiān)控。當產(chǎn)品體量較大或測量特征比較大時，就需要大規(guī)格的測量系統(tǒng)了。

大體量的零件上微小尺寸的高速測量需要特殊技術的設備來實現(xiàn)。而光學系統(tǒng)允許宏觀和微小尺寸測量的快速切換，傳統(tǒng)的光學變焦鏡頭提供了一個放大范圍，但是需要頻繁變焦會是檢測效率提升的一個瓶頸，這種情況下,變焦鏡就需要更多的維護并在一定時間以后的更換。

對于這種應用，帶有兩個或更多內部固定鏡頭的光學系統(tǒng)就很理想。而QVI旗下的VIEW-Summit系統(tǒng)配備兩個獨立的內部放大倍率和一個可以切換的前置鏡頭。內部放大倍率是一倍和四倍的前置放大鏡頭。固定式鏡頭設計在無需移動零件的情況下，確保正常的校準和可靠性甚至在批量操作時。這種特殊的光學設計在不犧牲測量效率和成本的前提下，優(yōu)化了在影像視窗內的零件和有關特征尺寸的測量。

光學閃測----飛一樣的測量機制

另外一個關鍵是對于快速測量系統(tǒng)中使用快速轉運零件到光學視窗下，或者在測量位置快速移動。在這里減少移動和測量速度的優(yōu)化取決于零件設計。當零件特征比較微小時，最快的系統(tǒng)是XY平臺運動加速度非常高的。而當距離很長時，平臺運動加速度固然重要，但是平臺運動速度也是至關重要的。當加速度是關鍵動因時，線性馬達系統(tǒng)提供了最好的性能。這種馬達是線性電磁陣列通過機械耦合驅動平臺的，完全無磨損而且可以實現(xiàn)在短距離非常高的加速度。軸向運動的直線度和垂直度完全是獨立驅動的系統(tǒng)，因此操控速度在全部系統(tǒng)加速度中只是其中一個因素。而平臺長距離移動或有重載荷時,通常會增加轉臺驅動系統(tǒng)會提供低成本和高速測量。對于微小特征的高速測量還有一個高端的技術就是“在飛的平臺”在測量位置不停留，大大縮短了傳統(tǒng)意義的移動測量操作的時間。這種測量技術被稱為連續(xù)影像捕捉，需要相機、光源和軟件中有特殊配置才可以實現(xiàn)。

相機幀頻、照明的調幅和平臺速度必須同步，這樣才能在零件在平臺移動、光學連續(xù)捕捉影像時的一發(fā)揮最大程度的測量效率，當然這時產(chǎn)品特征的密度是相對單一和有規(guī)律的。

通過選擇前鏡頭來優(yōu)化在影像視窗中的特征數(shù)量并同步獲取每一幀畫面綜合特征的速度，測量效率可以比常規(guī)的移動測量式的操作提升4~6倍。

光學測量的盲區(qū)解決方案

光學測量很快，而且通常是測量精微產(chǎn)品尺寸的最佳方式，但是仍然有些特征是不可能或者常規(guī)不使用光學測量。針對這種情況，多元傳感測量系統(tǒng)就應運而生了，多種傳感器可以使用多元的方式來獲取必要的產(chǎn)品數(shù)據(jù)。

常規(guī)的場景比如需要測量一個內孔尺寸，內腔邊壁或凹進出太小或太深，光照不及時，會配備接觸式測量頭。但是當特征太小，測針伸不進去時，一個選項就是使用測頭直徑非常小的微測針。OGP的羽毛探針就是微測針的一種，測頭直徑最小為1mm，測力小于10mg.這種探針可以進入薄壁或脆弱材料的盲孔中測量。

對于測量光學無法測到的表面高度，激光是顯而易見的選擇，但是三角法激光取決于反射回來的激光束是否能接收到，當特征太小或材料表面太陡無法接受到反射信號時，另外一種高端選件干涉激光就變得非常適用了。

在很陡的表面及盲區(qū)，可以應用PCI 干涉激光技術結合激光光束的信號和參考光源測量絕對高度和深度。

滿足需求

當微小零件批量生產(chǎn)時就對測量提出了挑戰(zhàn)，制造精準，重復性好的測量設備，在產(chǎn)線過程的快速測量至關重要。擁有了好的工具和技術，即使最艱難的微制造產(chǎn)品的測量任務都可以輕松搞定。